ZAPYTANIE OFERTOWE NA DOSTAWĘ SYSTEMU MONITORINGU I KONTROLI PARAMETRÓW WARSTW ORAZ SYSTEMU KONTROLI I STEROWANIA PARAMETRAMI PROCESU OSADZANIA (SDS OPTIC/4/2026)
Notice description
Powstaje w kontekście projektu:
FELU.01.02-IP.01-0021/23 - Zakup sprzętu do prowadzenia prac badawczo-rozwojowych nad optymalizacją czujnika do zastosowań medycznych wchodzącego w skład autorskiej mikrosondy do diagnostyki chorób
Opis przedmiotu zamówienia
na dostawę systemu monitoringu i kontroli parametrów warstw oraz systemu kontroli i sterowania parametrami procesu osadzania (SDS OPTIC/4/2026)
Przedmiotem zamówienia jest zakup, dostawa oraz integracja z maszyną do wytwarzania cienkich warstw, producenta Kurt J. Lesker Company, model PRO Line PVD 75 stanowiącą zasób Zamawiającego, dwóch nowych systemów: systemu monitoringu i kontroli parametrów warstw oraz systemu kontroli i sterowania parametrami procesu osadzania. Dostarczone systemy muszą być kompatybilne z posiadaną maszyną oraz umożliwiać ich prawidłową integrację i współpracę z jej istniejącymi podzespołami i układami.
1.
System monitoringu i kontroli parametrów warstw:
System powinien obejmować urządzenie pomiarowe do pomiaru parametrów warstw w trakcie procesu osadzenia, układ sterowania systemem wraz z analizą parametrów osadzonych warstw
Parametry:
•
niejednorodność grubości powłoki na całej powierzchni uchwytu podłoża ≤±2.0%
Funkcjonalności:
•
kontrola grubości warstw w trakcie procesu osadzania
•
pomiar grubości warstwy z dokładnością nie gorszą niż ±0.3% dla długości fali 1500nm
•
kontrola widma optycznego warstw w trakcie procesu osadzania - Zakres pomiarowy 400 -2000 nm, Dokładność pomiaru nie gorsza niż 1nm,
•
rozdzielczość pomiarowa nie gorsza niż 4 nm
•
możliwość produkcji powłok optycznych o niskim przesunięciu długości fali <1%
•
wytwarzania warstw optycznych o wysokiej gęstości ze stabilnym współczynnikiem załamania światła; odchylenie współczynnika załamania światła < ±0,5%
•
możliwość symulowania końcowej charakterystyki optycznej układu osadzanych warstw:
o
w przypadku zdefiniowanego początkowego składu warstw przy użyciu parametrów takich jak grubość i współczynnik załamania,
o
wyznaczenie końcowej charakterystyki optycznej układu po naniesieniu na wykonaną podczas procesu powłokę dodatkowych warstw o ustalonych parametrach – przedział grubości, współczynnik załamania
•
możliwość odczytu plików w formacie tekstowym zawierających niezbędne do obliczeń parametry fizyczne dodatkowych warstw, które nie są nanoszone w procesie osadzania.
•
sterowanie oraz kontrola procesu z wizualnym podglądem parametrów osadzania i możliwością ręcznej modyfikacji – wbudowany w maszynę lub jako jednostka zewnętrzna.
Załącznik nr 1 do Zapytania ofertowego
Opis przedmiotu zamówienia
Strona 2 z 4
2.
System kontroli i sterowania parametrami procesu osadzania
System powinien obejmować osprzęt próżniowy pozwalający na podniesienie parametrów maszyny, układ kontroli i sterowania próżnią, układ kontroli i sterowania gazami procesowymi, układ kontroli temperatury procesu
System pozwoli zapewnić następujące parametry i funkcjonalności.
Parametry:
•
czas osiągnięcia ciśnienia bazowego nie dłuższy niż 1 godzina
•
ciśnienie w czystej komorze – przed procesowe – nie wyższe niż 1x10-6mbar
•
czas osiągnięcia optymalnego ciśnienia przed procesowego nie dłuższy niż 8 godzin
Funkcjonalności:
•
kontrola temperatury podłoża w trakcie procesu osadzania minimum do 200 ºC
W ramach zamówienia powinno nastąpić:
•
Szkolenie dla 3 pracowników z obsługi urządzenia w języku polskim lub angielskim w siedzibie Zamawiającego (odbiór testami jakościowymi – odbiór końcowy),
•
Dostawa musi zostać zrealizowana do:
SDS Optic S.A.
ul. Głęboka 39
20-612 Lublin
•
Zamawiający zobowiązuje się do transportu elementów urządzenia na terenie budynku, czyli od miejsca dostawy do miejsca instalacji.
•
Dostawa dokumentacji w języku polskim w tym:
✓
DTR
✓
instrukcja obsługi systemów
✓
instrukcja konserwacji systemów
✓
diagram PI / schemat blokowy
✓
schemat połączeń elektrycznych
✓
schematy montażowe
Powyższe dokumenty powinny być dostarczane w formie papierowej oraz na nośniku np. pendrive, CD wraz z dostawą.
Zielone zamówienia:
1)
zostanie wybrana oferta, która zapewni eliminację z układu chłodzenia glikolu co pozwoli wyeliminować jego zużycie. Układ chłodzenia maszyny będzie wykorzystywał tylko wodę,
2)
zostanie wybrana oferta która pozwoli na wyeliminowanie z użycia materiałów ściernych oraz rozpuszczalników.
Załącznik nr 1 do Zapytania ofertowego
Opis przedmiotu zamówienia
Strona 3 z 4
Weryfikacja powyższego dokonana będzie na podstawie oferty Wykonawcy (formularz cenowy) oraz kart katalogowych / specyfikacji technicznych maszyny, itp. dokumentów złożonych wraz z ofertą (zgodnie z wymogiem określonym w rozdz. VII ust. 1 pkt 2 Zapytania ofertowego.
Zamawiający wymaga, by na oferowane systemy gwarancja wynosiła co najmniej 12 miesięcy od dnia podpisania protokołu odbioru końcowego „bez zastrzeżeń”.
Opis próby badawczej:
Odbiór urządzenia powinien zostać poprzedzony pozytywnym zakończeniem próby badawczej oraz sprawdzeniem parametrów zmodernizowanej maszyny z zaoferowanymi systemami i kompletności dostawy. Próba zostanie przeprowadzona u Zamawiającego po dostawie, instalacji i szkoleniu. Celem próby badawczej jest potwierdzenie parametrów i funkcjonalności modernizacji. W przypadku, gdy próba badawcza nie zakończy się pozytywnie, nie nastąpi podpisanie protokołu zdawczo-odbiorczego. Wówczas Zamawiający odstąpi od umowy ze skutkiem natychmiastowym, bez możliwości zapłaty Wykonawcy jakiegokolwiek wynagrodzenia i możliwości dochodzenia przez niego odszkodowania od Zamawiającego.
Próba badawcza maszyny zostanie przeprowadzona w siedzibie Zamawiającego po zakończeniu instalacji i uruchomieniu zmodernizowanej maszyny. Będzie ona polegała na:
•
przeprowadzeniu testów działania układu próżniowego w tym charakterystyki próżni, prędkości pompowania, ogrzewania oraz wdrożenia procesów testowych. Sprawdzane będą następujące parametry:
•
ciśnienie w czystej komorze – przed procesowe – nie wyższe niż 1x10-6 mbar,
•
czas osiągnięcia optymalnego ciśnienia przed procesowego nie gorszy niż 8 godzin,
•
czas osiągnięcia ciśnienia bazowego nie dłuższy niż 1 godzina.
W ramach procesów testowych zostaną wytworzone powłoki na podłożach szklanych i krzemowych oraz na czołach światłowodów. Do testów zostaną użyte próbki krzemowe i szklane o średnicy nie mniejszej niż 2 cm oraz włókno światłowodowe SMF 28.
Jako powłoki testowe zostaną wytworzone powłoki: TiO2, Al2O3, ZnO o grubości nie mniejszej niż 100 nm dla każdego rodzaju próbek.
Testowanymi parametrami będą:
1)
niejednorodność grubości powłoki na całej powierzchni uchwytu podłoża - wymagana ≤±2.0%,
2)
odchylenie współczynnika załamania światła < ±0,5% dla całej powierzchni próbki,
3)
w przypadku próbek osadzanych na światłowodach dla 10 światłowodów zostaną wykonane pomiary optyczne mające na celu potwierdzenie uzyskanego widma optycznego w stosunku do zadanego w trakcie procesu osadzania – mierzonego na maszynie.
Testom podlegać będzie również system monitoringu osadzanych warstw w zakresie przedstawionych wyżej wymagań poprzez badania porównawcze parametrów fizycznych wykonanych warstw względem pomiarów elipsometrycznych wykonanych na urządzeniu Zamawiającego:
Załącznik nr 1 do Zapytania ofertowego
Opis przedmiotu zamówienia
Strona 4 z 4
1)
pomiar fotometryczny z dokładnością nie gorszą niż ±0,3% dla długości fali 1500 nm,
2)
zakres pomiarowy 400 -2000 nm, Dokładność pomiaru nie gorsza niż 1nm.
Odbiór całości przedmiotu zamówienia zostanie potwierdzony przez obie Strony protokołem odbioru przedmiotu zamówienia po uzyskaniu pozytywnego wyniku próby badawczej. Dniem dokonania odbioru jest dzień podpisania protokołu odbioru, opatrzonego przez Zamawiającego klauzulą „bez zastrzeżeń”.
Wykonawca w ramach realizacji umowy zobowiązany będzie do odbioru opakowań, w których będzie dostarczone urządzenie (w tym jego wyposażenie), celem przekazania ich do recyklingu lub utylizacji zgodnie z obowiązującymi przepisami prawa.
Termin realizacji zamówienia wynosi do 15 grudnia 2026 r.
Okres gwarancji: minimum 12 miesięcy
Miejsce realizacji
Kraj: Polska, Województwo: lubelskie, Powiat: Lublin, Gmina: Lublin, Miejscowość: Lublin
FELU.01.02-IP.01-0021/23 - Zakup sprzętu do prowadzenia prac badawczo-rozwojowych nad optymalizacją czujnika do zastosowań medycznych wchodzącego w skład autorskiej mikrosondy do diagnostyki chorób
Opis przedmiotu zamówienia
na dostawę systemu monitoringu i kontroli parametrów warstw oraz systemu kontroli i sterowania parametrami procesu osadzania (SDS OPTIC/4/2026)
Przedmiotem zamówienia jest zakup, dostawa oraz integracja z maszyną do wytwarzania cienkich warstw, producenta Kurt J. Lesker Company, model PRO Line PVD 75 stanowiącą zasób Zamawiającego, dwóch nowych systemów: systemu monitoringu i kontroli parametrów warstw oraz systemu kontroli i sterowania parametrami procesu osadzania. Dostarczone systemy muszą być kompatybilne z posiadaną maszyną oraz umożliwiać ich prawidłową integrację i współpracę z jej istniejącymi podzespołami i układami.
1.
System monitoringu i kontroli parametrów warstw:
System powinien obejmować urządzenie pomiarowe do pomiaru parametrów warstw w trakcie procesu osadzenia, układ sterowania systemem wraz z analizą parametrów osadzonych warstw
Parametry:
•
niejednorodność grubości powłoki na całej powierzchni uchwytu podłoża ≤±2.0%
Funkcjonalności:
•
kontrola grubości warstw w trakcie procesu osadzania
•
pomiar grubości warstwy z dokładnością nie gorszą niż ±0.3% dla długości fali 1500nm
•
kontrola widma optycznego warstw w trakcie procesu osadzania - Zakres pomiarowy 400 -2000 nm, Dokładność pomiaru nie gorsza niż 1nm,
•
rozdzielczość pomiarowa nie gorsza niż 4 nm
•
możliwość produkcji powłok optycznych o niskim przesunięciu długości fali <1%
•
wytwarzania warstw optycznych o wysokiej gęstości ze stabilnym współczynnikiem załamania światła; odchylenie współczynnika załamania światła < ±0,5%
•
możliwość symulowania końcowej charakterystyki optycznej układu osadzanych warstw:
o
w przypadku zdefiniowanego początkowego składu warstw przy użyciu parametrów takich jak grubość i współczynnik załamania,
o
wyznaczenie końcowej charakterystyki optycznej układu po naniesieniu na wykonaną podczas procesu powłokę dodatkowych warstw o ustalonych parametrach – przedział grubości, współczynnik załamania
•
możliwość odczytu plików w formacie tekstowym zawierających niezbędne do obliczeń parametry fizyczne dodatkowych warstw, które nie są nanoszone w procesie osadzania.
•
sterowanie oraz kontrola procesu z wizualnym podglądem parametrów osadzania i możliwością ręcznej modyfikacji – wbudowany w maszynę lub jako jednostka zewnętrzna.
Załącznik nr 1 do Zapytania ofertowego
Opis przedmiotu zamówienia
Strona 2 z 4
2.
System kontroli i sterowania parametrami procesu osadzania
System powinien obejmować osprzęt próżniowy pozwalający na podniesienie parametrów maszyny, układ kontroli i sterowania próżnią, układ kontroli i sterowania gazami procesowymi, układ kontroli temperatury procesu
System pozwoli zapewnić następujące parametry i funkcjonalności.
Parametry:
•
czas osiągnięcia ciśnienia bazowego nie dłuższy niż 1 godzina
•
ciśnienie w czystej komorze – przed procesowe – nie wyższe niż 1x10-6mbar
•
czas osiągnięcia optymalnego ciśnienia przed procesowego nie dłuższy niż 8 godzin
Funkcjonalności:
•
kontrola temperatury podłoża w trakcie procesu osadzania minimum do 200 ºC
W ramach zamówienia powinno nastąpić:
•
Szkolenie dla 3 pracowników z obsługi urządzenia w języku polskim lub angielskim w siedzibie Zamawiającego (odbiór testami jakościowymi – odbiór końcowy),
•
Dostawa musi zostać zrealizowana do:
SDS Optic S.A.
ul. Głęboka 39
20-612 Lublin
•
Zamawiający zobowiązuje się do transportu elementów urządzenia na terenie budynku, czyli od miejsca dostawy do miejsca instalacji.
•
Dostawa dokumentacji w języku polskim w tym:
✓
DTR
✓
instrukcja obsługi systemów
✓
instrukcja konserwacji systemów
✓
diagram PI / schemat blokowy
✓
schemat połączeń elektrycznych
✓
schematy montażowe
Powyższe dokumenty powinny być dostarczane w formie papierowej oraz na nośniku np. pendrive, CD wraz z dostawą.
Zielone zamówienia:
1)
zostanie wybrana oferta, która zapewni eliminację z układu chłodzenia glikolu co pozwoli wyeliminować jego zużycie. Układ chłodzenia maszyny będzie wykorzystywał tylko wodę,
2)
zostanie wybrana oferta która pozwoli na wyeliminowanie z użycia materiałów ściernych oraz rozpuszczalników.
Załącznik nr 1 do Zapytania ofertowego
Opis przedmiotu zamówienia
Strona 3 z 4
Weryfikacja powyższego dokonana będzie na podstawie oferty Wykonawcy (formularz cenowy) oraz kart katalogowych / specyfikacji technicznych maszyny, itp. dokumentów złożonych wraz z ofertą (zgodnie z wymogiem określonym w rozdz. VII ust. 1 pkt 2 Zapytania ofertowego.
Zamawiający wymaga, by na oferowane systemy gwarancja wynosiła co najmniej 12 miesięcy od dnia podpisania protokołu odbioru końcowego „bez zastrzeżeń”.
Opis próby badawczej:
Odbiór urządzenia powinien zostać poprzedzony pozytywnym zakończeniem próby badawczej oraz sprawdzeniem parametrów zmodernizowanej maszyny z zaoferowanymi systemami i kompletności dostawy. Próba zostanie przeprowadzona u Zamawiającego po dostawie, instalacji i szkoleniu. Celem próby badawczej jest potwierdzenie parametrów i funkcjonalności modernizacji. W przypadku, gdy próba badawcza nie zakończy się pozytywnie, nie nastąpi podpisanie protokołu zdawczo-odbiorczego. Wówczas Zamawiający odstąpi od umowy ze skutkiem natychmiastowym, bez możliwości zapłaty Wykonawcy jakiegokolwiek wynagrodzenia i możliwości dochodzenia przez niego odszkodowania od Zamawiającego.
Próba badawcza maszyny zostanie przeprowadzona w siedzibie Zamawiającego po zakończeniu instalacji i uruchomieniu zmodernizowanej maszyny. Będzie ona polegała na:
•
przeprowadzeniu testów działania układu próżniowego w tym charakterystyki próżni, prędkości pompowania, ogrzewania oraz wdrożenia procesów testowych. Sprawdzane będą następujące parametry:
•
ciśnienie w czystej komorze – przed procesowe – nie wyższe niż 1x10-6 mbar,
•
czas osiągnięcia optymalnego ciśnienia przed procesowego nie gorszy niż 8 godzin,
•
czas osiągnięcia ciśnienia bazowego nie dłuższy niż 1 godzina.
W ramach procesów testowych zostaną wytworzone powłoki na podłożach szklanych i krzemowych oraz na czołach światłowodów. Do testów zostaną użyte próbki krzemowe i szklane o średnicy nie mniejszej niż 2 cm oraz włókno światłowodowe SMF 28.
Jako powłoki testowe zostaną wytworzone powłoki: TiO2, Al2O3, ZnO o grubości nie mniejszej niż 100 nm dla każdego rodzaju próbek.
Testowanymi parametrami będą:
1)
niejednorodność grubości powłoki na całej powierzchni uchwytu podłoża - wymagana ≤±2.0%,
2)
odchylenie współczynnika załamania światła < ±0,5% dla całej powierzchni próbki,
3)
w przypadku próbek osadzanych na światłowodach dla 10 światłowodów zostaną wykonane pomiary optyczne mające na celu potwierdzenie uzyskanego widma optycznego w stosunku do zadanego w trakcie procesu osadzania – mierzonego na maszynie.
Testom podlegać będzie również system monitoringu osadzanych warstw w zakresie przedstawionych wyżej wymagań poprzez badania porównawcze parametrów fizycznych wykonanych warstw względem pomiarów elipsometrycznych wykonanych na urządzeniu Zamawiającego:
Załącznik nr 1 do Zapytania ofertowego
Opis przedmiotu zamówienia
Strona 4 z 4
1)
pomiar fotometryczny z dokładnością nie gorszą niż ±0,3% dla długości fali 1500 nm,
2)
zakres pomiarowy 400 -2000 nm, Dokładność pomiaru nie gorsza niż 1nm.
Odbiór całości przedmiotu zamówienia zostanie potwierdzony przez obie Strony protokołem odbioru przedmiotu zamówienia po uzyskaniu pozytywnego wyniku próby badawczej. Dniem dokonania odbioru jest dzień podpisania protokołu odbioru, opatrzonego przez Zamawiającego klauzulą „bez zastrzeżeń”.
Wykonawca w ramach realizacji umowy zobowiązany będzie do odbioru opakowań, w których będzie dostarczone urządzenie (w tym jego wyposażenie), celem przekazania ich do recyklingu lub utylizacji zgodnie z obowiązującymi przepisami prawa.
Termin realizacji zamówienia wynosi do 15 grudnia 2026 r.
Okres gwarancji: minimum 12 miesięcy
Miejsce realizacji
Kraj: Polska, Województwo: lubelskie, Powiat: Lublin, Gmina: Lublin, Miejscowość: Lublin
Time limit for receipt of tenders
Fri Oct 23 08:00:00 GMT 2026
Location
Kraj: Polska, Województwo: lubelskie, Powiat: Lublin, Gmina: Lublin, Miejscowość: Lublin
Category assortment
Measuring equipment and monitoring systems
Production machinery and parts
Production machinery and parts
Buyer details
SDS OPTIC S. A.
Głęboka 39
20-612 Lublin
Województwo: lubelskie
Kraj: Polska
NIP: 7123279546
Głęboka 39
20-612 Lublin
Województwo: lubelskie
Kraj: Polska
NIP: 7123279546
