Back

Dostawa pięciu zbiorników napełnionych prekursorami chemicznymi do osadzania cienkich warstw metodą ALD

» Notice description

Przedmiotem zamówienia jest dostawa pięciu zbiorników napełnionych prekursorami chemicznymi, z tym, że zbiorniki mają być kompatybilne z urządzeniem TFS-200 Beneq (w siedzibie Zamawiającego) do osadzania cienkich warstw metodą ALD:
1) Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium (TEMAH), o czystości 99.99% i objętości 150ml, w zbiorniku podgrzewanym;
2) Trimethylaluminum (TMA), o czystości 99.99% i objętości 150ml, w zbiorniku na prekursory ciekłe;
3) Diethylzinc (DEZ), o czystości 99.9998% i objętości 150ml, w zbiorniku na prekursory ciekłe;
4) Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium(IV) (TEMAZ), o czystości 99% i objętości 150ml, w zbiorniku podgrzewanym;
5) Tantalum(V) chloride (TaCl5), o czystości 99.99% i objętości 150ml, w zbiorniku podgrzewanym;
wraz z obsługą gwarancyjną.

Make an offer


» Time limit for receipt of tenders

30.10.2020 | 10:00


» Location

Al. Lotników 32/46
Warszawa 02-668
Województwo: mazowieckie
Polska


» Category assortment

  • Industrial chemicals

» Buyer data

Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Elektronowej
Al. Lotników 32/46
Warszawa 02-668
Województwo: mazowieckie
Polska


» Contact details

Available after sign in

Sign in

Stay up to date with the news from the market
 

Requests from Chemicals category published on OnePlace in last 10 days.